2018年12月07日
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“纳米台阶高度样板的装备、比对和溯源及相关理论与技术的研究”科技成果鉴定会圆满结束



发布时间:2016-12-12 09:12:44


        2016年12月3日,由中国计量测试学会组织的西安交通大学 “纳米台阶高度样板的装备、比对和溯源及相关理论与技术的研究”科技成果鉴定会圆满结束。
        此次鉴定会在西安交通大学机械工程学院进行。同济大学李同保院士、中国计量科学研究院高思田研究员、国家纳米科学中心纳米标准研究室葛广路研究员、陕西省计量科学研究院秦宇副院长、北京理工大学赵维谦教授、天津大学胡晓东教授和浙江理工大学陈本永教授作为鉴定专家参与了该项目的鉴定工作。



        鉴定会由李同保院士主持。在鉴定会上,鉴定委员会听取了蒋庄德院士所作的项目总体报告,包括项目研究背景与意义、技术路线与研究内容、主要技术指标与技术比对、项目研究创新点和技术应用实例;课题组杨树明教授作的应用、检测和查新报告。随后专家组审查了项目鉴定资料,并对西安交通大学的进行了现场考察。随后,鉴定专家与西安交通大学课题组开展了热烈地质询讨论。







        经过全体评审专家认真评审,一致认为:该项研究总体技术水平达到国际先进水平,其中在基于ALD的纳米台阶高度样板制备方面达到了国际领先。成果满足纳米几何量测量需求。鉴定委员会同意通过鉴定。建议尽快纳入国家纳米计量标准体系。


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